80% WTi
1. Целевое обслуживание
Чтобы избежать коротких замыканий и дуговых замыканий, вызванных грязными полостями во время процесса распыления, необходимо периодически удалять распыляемый материал, скапливающийся в середине и по обеим сторонам дорожки распыления. Это также помогает пользователям непрерывно работать с высокой плотностью мощности. Выполнить распыление.
2. Целевое хранилище
Мы рекомендуем пользователям хранить мишени (металлические или керамические) в вакуумной упаковке. В частности, ламинированные мишени должны храниться в условиях вакуума, чтобы предотвратить окисление ламинированного слоя, влияющее на качество ламинирования. Что касается упаковки металлических мишеней, мы рекомендуем упаковывать их как минимум в чистые пластиковые пакеты.
Поставщик мишеней для распыления 80% вольфрама
3. Целевая очистка
Первый шаг — чистка мягкой безворсовой тканью, смоченной ацетоном;
Второй шаг аналогичен первому: используйте спирт для очистки;
Третий шаг — очистка деионизированной водой. После очистки деионизированной водой мишень помещалась в печь для сушки при температуре 100 градусов по Цельсию на 30 минут. Для очистки оксидных и керамических мишеней рекомендуется использовать «безворсовую ткань».
Четвертый шаг — продувка мишени аргоном под высоким давлением и с низкой влажностью для удаления любых загрязненных частиц, которые могут вызвать искрение в системе распыления.
4. Проверка на короткое замыкание и герметичность
После установки мишени необходимо осмотреть весь катод на предмет короткого замыкания и герметичности. Рекомендуется использовать измеритель сопротивления, чтобы определить, есть ли короткое замыкание на катоде. Убедившись, что в катоде нет короткого замыкания, можно выполнить проверку на утечку воды и пропустить воду в катод, чтобы определить, есть ли утечка воды.
Производство мишеней для распыления 80% вольфрама
5. Упаковка и транспортировка
Все мишени упакованы в вакуумные пластиковые пакеты с влагонепроницаемым агентом. Внешняя упаковка обычно представляет собой деревянный ящик с антистолкновительным слоем вокруг него, чтобы защитить мишень и подложку от повреждений во время транспортировки и хранения.
