Микроэлектроника и производство полупроводников: циркониевые мишени обычно используются в технологиях распыления и химического осаждения из паровой фазы (CVD). В микроэлектронике и производстве полупроводников пленки циркония могут использоваться в качестве электродных материалов, межсоединений, электродов затвора и защитных слоев для обеспечения стабильных электрических свойств и защиты.
Область оптоэлектроники: циркониевые мишени также широко используются в области оптоэлектроники, в основном для приготовления высококачественных тонкопленочных материалов, отвечающих требованиям высокой точности и высокой чистоты.
Дисплей изображений целевого продукта из циркония Чжэнань
Мишень для распыления металла из чистого zr
Мишень для распыления металла из чистого циркония
